SEM掃描電子顯微鏡組成部分的介紹

日期：2023-03-24 14:08:33 瀏覽次數：160

電子光學系統：

　　組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。

　　作用：獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發源。

信號收集和顯示系統：

　　信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器（波譜儀和能譜儀）

　　顯示系統：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。

真空系統：

　　組成：機械泵、擴散泵

　　作用：保證電子光學系統正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。

電源系統：

　　包括啟動的各種電源，檢測-放大系統電源，光電倍增管電源，真空系統和成像系統電源燈。還有穩壓、穩流及相應的安全保護電路。